1.新石墨舟在第一次運(yùn)用前主張運(yùn)用去離子水+10%（體積比）的氫氟酸進(jìn)行清洗約3~5小時(shí)；再用去離子水進(jìn)行漂洗8~12小時(shí)；直到供認(rèn)舟體沒(méi)有酸性成分，可在漂洗后用PH試紙測(cè)驗(yàn)用過(guò)的水或洗過(guò)的舟，以供認(rèn)清洗成果。然后依照要求進(jìn)行烘干。
    2.運(yùn)用后石墨舟的清洗：SHF的石墨舟一般在運(yùn)用100-150次左右需要對(duì)其外表的氮化硅進(jìn)行清洗。主張運(yùn)用濃度15-25%的氫氟酸溶液，分三輪次來(lái)清洗，每次4-5小時(shí)，并在浸泡清洗的過(guò)程中進(jìn)行周期性氮?dú)夤呐荩影胄r(shí)左右的清洗；留意：鼓泡不主張直接運(yùn)用空氣作為氣源。酸洗后用純水漂洗10小時(shí)左右，并供認(rèn)舟現(xiàn)已完全清洗潔凈，請(qǐng)?jiān)谇逑唇Y(jié)束后查看舟的外表、石墨卡點(diǎn)和舟片結(jié)合處、以及其它部位是否還有氮化硅的剩余。然后依照要求進(jìn)行烘干。
清洗留意事項(xiàng)：
    A）由于HF酸歸于強(qiáng)腐蝕性物質(zhì)并有必定的揮發(fā)性，對(duì)操作人員有必定的危險(xiǎn)性。因而清洗崗位操作人員必須做好安全防護(hù)，并進(jìn)行專(zhuān)人辦理。
    B）主張?jiān)谇逑磿r(shí)將舟拆開(kāi)后只對(duì)石墨部位進(jìn)行清洗，這樣能將各個(gè)觸摸部位清洗的更完全。目前國(guó)內(nèi)許多廠家選用全體清洗，雖然便當(dāng)，但由于HF酸對(duì)陶瓷部件有必定的腐蝕性，全體清洗會(huì)縮短相應(yīng)部件的運(yùn)用壽數(shù)。